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傳統的AAO模板由高純鋁片制備,操作簡單,自由度高,然而這種AAO模板很難進入半導體工藝并形成復雜結構微器件,為了解決這一問,基片上AAO模板應運而生。一般是通過先在基片上鍍一層鋁,然后進行原位制備AAO模板。與超薄AAO模板轉移到基片上相比,這種原位生長的AAO模板優點在于AAO與基片結合非常緊密,模板無褶皺和宏觀起伏,與基底無脫離。近期,我們將要推出了一款基片上AAO模板。
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